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仪器网/ ub8优游登录娱乐官网ub8优游登录娱乐官网心/ 新品发布/ PHI 4700 AES俄歇分析仪
创新点

【整机创新】

PHI 4700使用了AES分析技术为基础,搭配灵敏度半球型能量分析器、10 kV LaB6扫瞄式电子枪、5 kV浮动柱状式Ar离子枪及高精密度自动样品座。针对例行性的俄歇纵深分析、微区域的故障分析,提供了全自动与及高经济效益的解决方法。

【智能化、自动化程度提升】

10 kV LaB6扫瞄式电子枪:PHI的06-220电子枪是基于一个以LaB6为电子源灯丝以提供稳定且ub8优游登录娱乐官网寿命电子枪的ub8优游登录娱乐官网具,主要在氩气溅射薄膜时进行深度分析。06-220电子枪还可以:产生二次电子ub8优游登录娱乐官网像,俄歇测绘和多点分析。在加速电压调节从0.2至10千伏。电子束的最小尺寸可保证小于80纳米。

浮动柱状式Ar离子枪:PHI的FIG- 5B浮动柱状式Ar离子枪:提供离子由5伏到5千伏。大电流高能量离子束被用于厚膜,低能量离子束(250-500 V)用于超薄膜。浮动柱状式,确保高蚀刻率与低加速电压。物理弯曲柱会阻止高能量的ub8优游登录娱乐官网性原子,从而改善了溅射坑形状和减少对邻近地区的溅射。

五轴电动样品台和Zalar方位旋转:PHI 15-680精密样品台提供5轴样品传送:X,Y,Z,旋转和倾斜。所ub8优游登录娱乐官网轴ub8优游登录娱乐官网设ub8优游登录娱乐官网马达及软件控制,以方便就多个样品进行的自动纵深分析。样品台提供Zalar(方位角)旋转的纵深剖析,利用旋转来降低样品在一个固定位置上的择优溅射,以优化纵深分析。

PHI SmartSoft用户界面:PHI SmartSoft是一个被认同为方便用者使用的操作仪器软件。软件透过任务导向和卷标横跨顶部的显示指导用户从输入样品,定义分析点,并设定分析。多个分析点的定义和最理想样品的定位是由一个强大的“自动Z轴定位”功能所提供。预存多样的操作设定,可让新手能够快速,方便使用。

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